Sư họ Ung, hiệu là Vô Chuẩn (雍), quê ở huyện Tử Đồng, Kiểm Châu, tỉnh Tứ Xuyên. Năm 9 tuổi, sư theo Thiền sư Đạo Khâm ở núi Âm Bình (陰平山) xuất gia tu học. Mùa đông năm thứ 5 (1194) niên hiệu Thiện Hy, sư thọ giới cụ túc. Sư vì nhà nghèo không có dao cạo tóc nên mọi người gọi là " Ô Đầu Tử" (ông đầu đen).

Năm thứ nhất niên hiệu Khánh Nguyên (1195), sư đến nhập hạ ở Chính Pháp tự (正法寺) và học Thiền với thủ tọa Nghiêu. Tại đây sư có chổ khai ngộ.

Sau đó, sư đến tham học với Thiền sư Phật Chiếu Đức Quang (đệ tử nối pháp của Thiền sư Đại Huệ Tông Cảo) ở Đông Am (東庵) trên núi A Dục Vương (阿育王山). Một hôm, Thiền sư Phật Chiếu hỏi sư: " Quê quán của ông ở đâu?", sư đáp: "Con ở Kiếm Châu!". Ngài hỏi: "Ông có đem kiếm theo không", sư liền hét. Thiền sư Phật Chiếu thấy vậy cười rồi nói: " Gã đầu đen này ồn ào quá".

Kế tiếp, sư đến tham học với Thiền sư Phá Am Tổ Tiên ở Tây Hoa Tú Phong Tự (西華秀峰寺) ở vùng Tô Châu, tỉnh Giang Tô. Khi Thiền sư Tổ Tiên chuyển đến giáo hóa tại Linh Ẩn Thiền Tự, sư cũng đi theo thị giả hầu cận gần thầy tham học. Một hôm, có một vị đạo nhân đến xin Thiền sư Tổ Tiên chỉ dạy việc tu tập, ngài bèn dạy vị ấy tham công án " con hồ tôn" (con vượn). Lúc đó, sư đang đứng hầu bên cạnh thầy, sư nghe được bỗng đại ngộ và được Thiền sư Tổ Tiên ấn khả. Trước khi Thiền sư Tổ Tiên thị tịch, ngài đem y bát trao cho sư và công nhận sư làm pháp tử (người kế thừa dòng pháp) của mình, tiếp tục thay ngài truyền bá tông Lâm Tế.

Sau khi ngộ đạo, sư bắt đầu thuyết pháp và thu nhận môn đệ, giáo hóa đồ chúng tại chùa Thanh Lương ở vùng Minh Châu, tỉnh Triết Giang. Ngoài ra, sư cũng đến hoằng hóa tại nhiều nơi khác như Tiêu Sơn, Tuyết Đậu Sơn, A Dục Vương Sơn. Năm 1232, vua ban chiếu chỉ thỉnh sư đến trụ trì và giáo hóa ở Kính Sơn.

Năm 1233, vua Lý Tông (理宗;1224-1264) thỉnh sư vào nội cung tại Từ Minh Điện (慈明殿) thuyết pháp và vua cũng tham hỏi về Thiền Tông, Phật Pháp với sư. Vua ban cho sư hiệu là Phật Giám Thiền sư, những câu hỏi của vua và lời đáp của sư được ghi lại trong Vô Chuẩn Hòa Thượng Tấu Đối Ngữ Lục.

Trong cuộc đời hoằng pháp của sư, từng có nhiều vị tăng người Nhật vì mến mộ danh tiếng và đạo hạnh của sư mà đến học Thiền. Điển hình như các vị Viên Nhĩ Biện Viên, Tính Tài Pháp Tâm, Diệu Kiến Đường Đạo Hựu từng đến tham học với sư được đại ngộ và được sư ấn khả. Sau này, họ trở về Nhật Bản và truyền bá Tông Lâm Tế, dòng pháp của sư mạnh mẽ, Thiền sư Viên Nhĩ Biện Viên là người sáng lập ngôi Đại Đức Tự (Tōfuku-ji)- đại bản sơn nổi tiếng của tông Lâm Tế Nhật Bản. Ngoài ra, một số đệ tử đắc pháp khác của sư như Vô Học Tổ Nguyên, Ngột Am Phổ Ninh cũng truyền bá Tông Lâm Tế sang Nhật và rất nổi tiếng. Pháp tôn đời thứ 4 của sư là Thiền sư Nam Phổ Thiện Minh là người truyền bá Thiền tông tại Nhật Bản nổi trội nhất và là người dẫn đầu dòng truyền tông Lâm Tế (dòng pháp chính) tại Nhật Bản về sau, những vị Thiền sư nổi tiếng như Nhất Hưu Tông Thuần, Bạch Ấn Huệ Hạc, Hồng Nhạc Tông Diễn (Soyen Shaku, 釈 宗演, 1850-1919) đều thuộc dòng pháp của Nam Phổ.

Ngày 18 tháng 3 năm thứ 9 niên hiệu Thuần Hựu (淳祐), sư an nhiên tọa Thiền thị tịch, hưởng thọ 71 tuổi. Trước khi tịch, sư có viết 20 trang di biểu để căn dặn, nhắc nhở chúng đệ tử. Sư có để lại bài kệ thị tịch:

Khi đến trống hoang hoác

Ra về sạch trọi trơn

Muốn hỏi điều chân yếu

Chiếc cầu đá Thiên Thai

Ngữ lục của sư được ghi lại bộ Phật Giám Thiền Sư Ngữ Lục (佛鑑禪師語錄) gồm 5 quyển.